清理的真空环境一直是专家和商业界追求完美的理想化真空环境.自可以造就真空环境逐渐,大家就尝试选用不一样方式做到清理真空的实际效果.时迄今日,清理真空得到设备早已进步到冷凝泵,住赛泵,爪式泵,大口径电磁阀及其气动隔膜泵等不同产品.在目前的无油真空泵之中,耐高温电磁阀与其它类型的无油真空泵相比较具备以下特性:
①无油,无磨擦——真空腔内无油,非触碰,无损坏,不造成颗粒浮尘环境污染,可得到清理真空;
②抽气量大——双涡旋盘,构造与单极对比同样直徑泵抽气容量为2倍,节约能源;
③抽气高效率——含有3-4个抽气模块,压差小;空气与真空中间由O型圈密封性,热水器电磁阀泄露低;
④非触碰,优良均衡,扭矩危害小,噪音低,震动小;
⑤构造简洁紧密,同样大小下,健身运动半经小,运作稳定;
⑥体型小,检修便捷,维护费低;
⑦选用蒸发冷却,不用水冷散热。
现阶段无油涡旋真空泵的主要用途为:
①半导体业——塑料薄膜制取设备,半导体元器件封裝设备;
②仪器设备领域——同步辐射光线线,透射电镜,剖析测试设备;
③机械设备设备领域——原材料制取设备,真空检验,原材料纯化设备。